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科学研究概况
精密计量及测试技术
传感技术与智能仪器
微机电系统科学技术
导航仪器及
系统控制技术
光学信息存储及
处理科学技术

精密计量及测试技术

   主要研究包括:

  • 微纳米测量:
        MEMS结构机械特性测试技术,微夹持器及微器件装配技术,超高密度光存储系统集成及微型化研究,海洋内波测量技术及仪器,微推力器及微推力测量技术;
  • 在线在位测量:
        包括微型零件三维尺寸测量、非球面测量、生物生长状态的监测,建筑动态监测及在线在位测量的应用;集成多测量技术自动在线质量保证系统,结构光法三维形貌测量技术,微图像识别技术,用于微装配系统的光纤内窥镜传感技术,超低频传感器及其在大型结构及建筑振动测试中的应用技术。
  • 内波测量仪
 

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