精密计量及测试技术

   主要研究包括：

• 微纳米测量：
      MEMS结构机械特性测试技术，微夹持器及微器件装配技术，超高密度光存储系统集成及微型化研究，海洋内波测量技术及仪器，微推力器及微推力测量技术；
• 在线在位测量：
      包括微型零件三维尺寸测量、非球面测量、生物生长状态的监测，建筑动态监测及在线在位测量的应用；集成多测量技术自动在线质量保证系统，结构光法三维形貌测量技术，微图像识别技术，用于微装配系统的光纤内窥镜传感技术，超低频传感器及其在大型结构及建筑振动测试中的应用技术。

内波测量仪