微机电系统科学技术

   主要研究包括：

• 微/纳机电系统技术：
  研究MEMS/NEMS的设计、制造、测试和控制的理论、技术及其应用，重点研究微/纳传感器、微流体、微执行器、生物MEMS、光MEMS，MEMS应用技术及控制技术；

• 微型飞行器：
  研究微型飞行器的设计、制造、测量、控制和仿生的理论与技术，微型飞行器机载仪器及其应用，微型飞行器应用技术；

微/纳型卫星及其相关技术的研究：
    基于MEMS技术的姿态敏感与控制技术MEMS技术在空间的应用技术研究，MEMS卫星技术的研究，微/纳卫星及其编队飞行控制技术的研究，卫星的姿态控制系统的设计与仿真技术研究等。

小卫星	微型飞行器及其机载设备