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微系统与控制技术研究室
Microsystem and Control Technology Lab.

1、研究室概况

    微系统与控制技术研究室是清华大学微米/纳米技术中心的一部分,以研究微型器件、微型系统和纳米传感器为主,研究方向还涉及测量与控制技术、计算机应用、医学仪器和生化检测等多个方面。主要研究方向有:

  • 微机电系统与纳机电系统
  • 微型飞行器和控制导航技术
  • 医疗仪器和生化检测
  • 高精度原子光学测试技术及其微型化

2、学科介绍

   微系统(Microsystems)或称微型机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,略记为MEMS)或微型机器(Micromachine)技术是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域,它研究和控制物质结构的功能尺寸或分辨能力,达到微米至纳米尺度,它涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科并集约了当今科学技术的许多尖端成果。微型系统是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的,指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。微型系统可分成几个独立的功能单元, 其输入是物理信号,通过传感器转换为电信号,经过信号处理(模拟的和/或数字的)后,由执行器与外界作用。每一个微型系统可以采用数字或模拟信号(电、光、磁等等物理量)与其它微型系统进行通讯。纳机电系统(NEMS)是基于纳机电效应的、特征尺寸为纳米级的新型器件和系统,是微机电系统的延伸和发展,它将实现超高灵敏的传感和探测,超高精细的执行和操纵,超高密度的存储和传输等。教研室正在研究的项目有:微流量系统(微喷等)、微飞行器、纳米传感器和微生化系统等。
    生物医疗设备也是教研室的一个研究方向,目前正在研制的有国家科技攻关项目超声波手术仪、热疗治疗仪、人体姿态测量系统等。
    微米纳米技术、测量与控制技术是教研室的学科基础。


3、发展前景

    微米纳米技术是21世纪的前沿科学技术,有广阔发展前景。多年来微系统与控制技术教研室培养100余名博士,硕士等优秀人才,许多成为国内外的科技骨干和学术带头人。

 

     

地址:北京市海淀区清华大学精密仪器与机械学系 Tel / Fax:+86-010-62771478